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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶Σ-Δ调制器组成，利用0.25umCMOS技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5V，功耗约为6mW。电路的灵敏度可以达到2.5V/pF，分辨率可达到4aF。为满足不同应用的需求，PérezSanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umCMOS技术制造，供电电压为1.8V，能耗约为10mW。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mV/fF，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mV/fF。Awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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inficon真空泵系列产品空气流速准确测量真空计再添新式号，选用模拟信号輸出，为准确并可靠的传输数据服务保障。20很多年来，inficon真空泵凭着数显式空气流速准确测量真空计为空气流速准确测量给予整套计划方案，这款型号规格根据模块化可以适用一切工业生产真空泵运用，它所配置的真空泵规也便于安裝，可以实现靠谱的空气流速准确测量。

因为很多真空泵运用仅可在一定的工作压力区域内开展，因此可以准确且安全性地准确测量空气流速在具体运用中十分关键。系列产品合理准确测量并操纵超滤装置中的空气流速，全新升级加上的数显式数据信号輸出作用，可以让其完成高精密且可靠的传输数据。与模拟测量法对比，可以高质量准确无误地传送用以过程控制和记载的测定数据信息，获得更为准确的結果。

系列产品产品配置M12插连接头，使该真空计即使在苛刻加工工艺自然环境中也可应用。真空泵规还可与HiPace@涡轮增压分子泵和inficon真空泵别的产品一起在网络通信中运作。在零配件层面，已经有Profibus-DP、DeviceNet或带2个电源开关点和一个LCD显示器的额外模拟输出机器设备可选择。

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依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。利用物理性能的真空计典型性的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用汽体结构力学效用的典型性真空计有皮拉尼(Pirani)电阻器规和电加热偶规；利用自由电子作用的典型性真空计有热阴极水解规和冷阴极电离规。

1、波尔登规（Bourdon）2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电阻规5、热阴极水解规6、冷阴极水解规

真空计原理、工作中特点及应用热偶真空计是运用热电阻的电势差与加温部件的温度相关，元器件的温度又与气体的导热相关的基本原理来准确测量真空值的真空计。热偶真空计原理热电阻真空计的结构如下图1所显示，气体分子结构担负的导热量与气体压强正相关是热电阻真空计的原理。

热电阻真空计的结构图金属材料圆桶内部结构配有一根灯丝，两边联接电级，插电后灯丝会发烫。灯丝的卡路里会根据气体分子结构撞击灯丝、辐射热和固态导热等方法被抢走。设单位时间内以以上三种方法抢走的发热量各自为Qg、Qr、Qs，则平衡状态下下列公式计算创立：式中Q———单位时间灯丝释放的发热量；R———灯丝的电阻器；I———灯丝的电流量。

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